レジスト下のパターンの断線・ショートの検査

最強拡散照明によりレジスト下パターンを映し出します

カラー検査

赤、緑、青の異なる照射方法による照明で３台のカメラでの検査と同等の検査を行うことができます。

ガーバーデータからデータ作成

・自動位置合わせ

・仮画像の生成

・仮画像の生成

・検査領域の自動生成

統合検査システムとして提供可能