卓上検査装置 卓上におけるサイズの外観検査装置 特徴 ・卓上の設置面積が小さい ⇒ 面積生産性の向上 ・5分でマスターデータ登録 ⇒ 小ロット品検査にも対応 ・1枚5秒で検査 ⇒ 生産性の向上 ・ピクセル補間で検査処理 ⇒ 高品質検査 ・統計処理で基板バラツキの抑制 ⇒ 虚報を抑制して高スループット ・低価格への挑戦 ⇒ 導入コストを低減できる