株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

LED電極

検査対象製品概要

LED電極
製品名称
ダイシング後ウェハ
ワークサイズ
〜 4インチ
不良モード
電極の有無 傷 位置ズレ 

検査手法

  • 使用装置:顕微鏡検査装置
  • ワークを上左図の様に帯状に分割撮像し、検査を行う。
        1ショット毎に複数のチップを検査する。

ポイント

  • 測長機能を多用している。
  • 検査対象部が、周囲とうまくコントラストをとれるように照明でも工夫している。