株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

顕微鏡検査装置(エリアセンサカメラタイプ)

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特 徴

  • エリアセンサカメラを用いた検査装置です。
  • 不良検出に最良の照明(ストロボタイプ)を選択します。
  • 不良サイズにあわせ、対物レンズ倍率を選択します。
  • 専任プログラマによる高度なロジックを展開します。
  • インライン検査に展開できます。
  • カスタマイズ対応機です。

仕様例

装置外寸
500×500×650o 
顕微鏡
Nikon SMZ1500 
対物レンズ
0.75〜11.25倍
ワークサイズ
〜φ6インチ (XYステージを取り替えると〜φ12インチ)
カメラ
モノクロ400万画素エリアカメラ
照明
LED、キセノンランプ より選択。

適用例

ウエハ
裏面クラック検査 チップ検査
塗膜
粒検査
簡易パターン
突起、欠け、ピンホール、トビ、各不良の分別計算