顕微鏡検査装置(エリアセンサカメラタイプ)
特 徴
- エリアセンサカメラを用いた検査装置です。
- 不良検出に最良の照明（ストロボタイプ）を選択します。
- 不良サイズにあわせ、対物レンズ倍率を選択します。
- 専任プログラマによる高度なロジックを展開します。
- インライン検査に展開できます。
- カスタマイズ対応機です。
仕様例
- 装置外寸
- 500×500×650㎜
- 顕微鏡
- Nikon SMZ1500
- 対物レンズ
- 0.75～11.25倍
- ワークサイズ
- ～φ6インチ （XYステージを取り替えると～φ12インチ）
- カメラ
- モノクロ400万画素エリアカメラ
- 照明
- LED、キセノンランプ より選択。
適用例
- ウエハ
- 裏面クラック検査 チップ検査
- 塗膜
- 粒検査
- 簡易パターン
- 突起、欠け、ピンホール、トビ、各不良の分別計算
当社設備
- 高精度外観検査装置
- 高速外観検査装置
- ＣＣＤレビューステーション
（高精度外観検査装置用） - 簡易外観検査装置
（ラインセンサカメラタイプ） - 顕微鏡検査装置
（エリアセンサカメラタイプ） - 外観検査用ＬＥＤ照明
（ラインセンサカメラ専用） - トリガーコントローラ
- 卓上外観検査装置
卓上片面機１
卓上片面機２
仕様
利用場面 - Regulus64ソフトウエア