特 徴
- エリアセンサカメラを用いた検査装置です。
- 不良検出に最良の照明(ストロボタイプ)を選択します。
- 不良サイズにあわせ、対物レンズ倍率を選択します。
- 専任プログラマによる高度なロジックを展開します。
- インライン検査に展開できます。
- カスタマイズ対応機です。
仕様例
- 装置外寸
- 500×500×650o
- 顕微鏡
- Nikon SMZ1500
- 対物レンズ
- 0.75〜11.25倍
- ワークサイズ
- 〜φ6インチ (XYステージを取り替えると〜φ12インチ)
- カメラ
- モノクロ400万画素エリアカメラ
- 照明
- LED、キセノンランプ より選択。
適用例
- ウエハ
- 裏面クラック検査 チップ検査
- 塗膜
- 粒検査
- 簡易パターン
- 突起、欠け、ピンホール、トビ、各不良の分別計算