株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

簡易パターン

検査対象製品概要

簡易パターン
製品名称
簡易パターン
ワークサイズ
6インチサイズ〜
不良モード
断線、ショート、トビ、ピンホール

検査手法

  • 使用装置:顕微鏡検査装置
  • 手法:パターン部分(端部を除く)を上図のように、分割撮像、検査する。
        1ショットごとに、パターン部とスペース部を分離し、検査する。

ポイント

  • 4つの不良モードを別々にカウントできるよう、ソフトウェア上で工夫している。