株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

ウエハ (クラック 受入後)

検査対象製品概要

ウエハ (クラック 受入後)
製品名称
ベアウエハ
ワークサイズ
〜 4インチ
不良モード
クラック (受入後)

検査手法

  • 使用装置:顕微鏡検査装置
  • ストロボ照明を用い、ワークを上左図の様に分割撮像、両面検査を行う。 コントラスト差から自動的に検査対象エリアを認識させる。

ポイント

  • 表面状態に影響されることなく、クラックのみ抽出するようにソフトウェア上で工夫している。