株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

ウエハ (クラック BG後)

検査対象製品概要

ウエハ (クラック BG後)
製品名称
裏面研磨済みウェハ
ワークサイズ
〜 12インチ
不良モード
クラック (BG後)

検査手法

  • 使用装置:簡易外観検査装置 ウエハ仕様
  • 手法:ワークを上左図の様に帯状に分割撮像し、検査を行う。

ポイント

  • ソーマークの影響を軽減するため、照明にこだわっている。