株式会社メガトレード

外観検査をデザインするMEGA TRADE

ウエハ (チップ)

検査対象製品概要

ウエハ (チップ)
製品名称
ダイシング後ウェハ
ワークサイズ
〜 4インチ
不良モード
〇部無し、ヨゴレ、ズレ、ボイド チップ内傷

検査手法

  • 使用装置:顕微鏡検査装置
  • ストロボ照明を用い、ワークを上左図の様に分割撮像、検査を行う。
    1ショット毎に複数のチップを検査する。

ポイント

  • 〇部分とチップ全体とを、別のロジックで検査している。
  • 〇部に周囲とコントラストを持たせるため、照明系統を複数用意している。