2008.01.20
顕微鏡検査装置へレビュー機能の搭載を開始
2007.12.28
ベアウエハクラック両面検査装置を開発完了
2007.11.01
Regulus64ソフト ウエハ検査へ応用開始
2007.11.01
トンネル内ひび割れ検査ソフト 開発開始