• 2008.01.20顕微鏡検査装置へレビュー機能の搭載を開始
  • 2007.12.28 ベアウエハクラック両面検査装置を開発完了
  • 2007.11.01Regulus64ソフト ウエハ検査へ応用開始
  • 2007.11.01トンネル内ひび割れ検査ソフト 開発開始